HVPEエピウエハ

2インチ／100 mmの(001)エピウエハ、10×15 mm2／2インチの(011)エピウエハを販売中。10×15 mm2の(011)エピウエハにつきましては、エピ膜厚40 µmの販売開始の目途が立ち次第、仕様書に記載いたします。
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2インチ／100 mm β-Ga2O3 (001) epi-wafer (by HVPE)
2-inch(001)Ga2O3_Epi
HVPEエピウエハの仕様とSBDの特性例を示します。エピ濃度や膜厚につきましては、当社が保有する技術の範囲内にてカスタム対応が可能ですので、お気軽にお問合せ願います。



planar用 酸化ガリウム エピウエハ planar用 酸化ガリウム エピ使用のSBD特性







10×15 mm2 β-Ga2O3 (011) epi-wafer (by HVPE) *tentative
1015(011)Ga2O3_Epi
2インチ β-Ga2O3 (011) epi-wafer (by HVPE) *tentative
2-inch(011)Ga2O3_Epi


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