酸化ガリウムの(100)劈開面は、OFに平行で主面(001)面から103.7度傾いた面です。

　　劈開はOFに平行な任意の位置で発生することがあります。

β-Ga₂O₃ 100 mm ウエハの面方位

　β-Ga₂O₃ は(100)面および(001)面が劈開面で、(100)面がより割れやすいです。機械的衝撃や熱衝撃により、割れが生じることがあります。割れが生じにくい取扱い方を説明いたします。

ケース１　 ウエハを水や薬品などの液体に浸す場合

　洗浄等において、ウエハを常温純水から直接100℃の薬品に移す場合、ウエハが割れる場合があります。ウエハを常温から例えば40℃、70℃、100℃と30℃ずつ段階的に上げることで割れを防ぐことができます。同様に温度を下げる場合も100℃から70℃、そして40℃と段階的に下げます。それぞれの温度でウエハを浸す時間は数秒で充分ですが、数分間おいても問題ありません。

ケース２　ウエハをホットプレートに置く場合

　ウエハを80℃のホットプレートに直接置くと割れる可能性があります。これを避けるためにはセラミックスなど低熱伝導率の材質の板をホットプレートに置き、その上にウエハを置くことで徐々に温めることができ、割れを防げます。

ケース３　ピンセットでのウエハの取扱い

　ピンセットでウエハを持つ場合は、IFの反対側をつかむようにしてください。この位置は(100)面の割れによる影響を受けにくいです。

ケース４　超音波洗浄機

　弊社では周波数37 kHzで高周波出力144W(240W装置の60%)および192W(320W装置の60%)の超音波洗浄機を使用しています。高い高周波出力は割れの原因となる場合があります。