2インチ／100 mmの(001)エピウエハ、10×15 mm²の(011)エピウエハを販売中。10×15 mm²の(011)エピウエハにつきましては、エピ膜厚40 µmの販売開始の目途が立ち次第、仕様書に記載いたします。
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HVPEエピウエハの仕様とSBDの特性例を示します。エピ濃度や膜厚につきましては、当社が保有する技術の範囲内にてカスタム対応が可能ですので、お気軽にお問合せ願います。