酸化ガリウム開発の歴史

単結晶酸化ガリウムの開発の歴史は、2002年にタムラ製作所の子会社である光波がLED用基板として開発を開始したことに始まります。LED用基板の開発は2008年度にタムラ製作所に移管され、その年からメンバーを増員して本格的な開発に移行しました。

2010年頃に現NCT社長の倉又(当時、タムラ製作所の酸化ガリウム開発リーダー)は酸化ガリウムを、LED用基板としてではなく、パワー半導体材料として使うというアイデアを持っていました。そこで同じ考えを持っていた京都大学の藤田教授と情報通信研究機構(NICT)の東脇氏に相談を持ちかけました。

2011年に3者をコアメンバとして新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の競争的資金を獲得し、その資金で研究を開始しました。そしてこの年に、単結晶酸化ガリウムトランジスタの世界初の動作実証に成功しました。倉又はその時の様子について「理屈では動作するだろうと考えていたが、実際に動作したという連絡を受けたときは感動した」と語っています。また、同時期に4インチサイズの単結晶酸化ガリウム基板の研究開発レベルでの試作実証にも成功しました。

これらの成果を見た世界中の多くの研究者が、酸化ガリウムという材料に興味を持ちました。それ以降、年々研究人口が増加しています。現在、全世界で年間数億円の単結晶酸化ガリウム基板が研究開発用の目的だけで使われる程に研究規模が拡大しています。

PAGE TOP