図3 酸化ガリウムトレンチ型ショットキーバリアダイオードと市販されているSiCショットキーバリアダイオードの(a)逆方向特性と(b)順方向特性比較

図3 酸化ガリウムトレンチ型ショットキーバリアダイオードと市販されているSiCショットキーバリアダイオードの(a)逆方向特性と(b)順方向特性比較

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