論文紹介

タイトル著者名掲載誌名・掲載ページ刊行年
Enhancement-Mode Ga2O3Vertical Transistors With Breakdown Voltage >1 kVZ.Hu ,K.Nomoto ,W.Li ,N.Tanen ,K.Sasaki ,A.Kuramata ,T.Nakamura ,D.Jena ,H.G.XingElectron Device Letters 39,6, 869 - 872 2018
Recessed-Gate Enhancement-Mode β -Ga2O3 MOSFETsK.D.Chabak ,J.P.McCandless ,N.A.Moser ,A.J.Green ,K.Mahalingam ,A.Crespo ,N.Hendricks ,
B.M.Howe ,S.E.Tetlak ,K.Leedy ,R.C.Fitch ,D.Wakimoto ,K.Sasaki ,A.Kuramata ,G.H. Jessen
Electron Device Letters 39,1,67 - 70 2018
Radiation hardness of β-Ga2O3 metal-oxide-semiconductor field-effect transistors against gamma-ray irradiationM.H.Wong ,A.Takeyama ,T.Makino ,T.Ohshima ,K.Sasaki ,A.Kuramata ,S.Yamakoshi ,M.HigashiwakiAppl. Phys. Lett. 112, 0235032018
Recent Advances inGa2O3MOSFETTechnologiesM.Higashiwaki ,M.H.Wong ,T.Kamimura ,Y.Nakata ,C.H.Lin ,R.Lingaparthi ,A.Takeyama ,T.Makino ,T.Ohshima ,
N.Hatta ,K.Yagi ,K.Goto ,K.Sasaki ,S.Watanabe ,A.Kuramata ,S.Yamakoshi ,K.Konishi ,H.Murakami ,Y.Kumagai
76th Device Research Conf., June 2018.2018
Exploration of Process Techniques for Ga2O3 Based ElectronicsF.Rena ,S.J. Peartona ,J.Yanga , P.Careya , S.Ahnb , R.Khannac,K.Bevlinc ,D.Geerpuramc , A.KuramataECS MA2018-01 ,1419 2018
Thick, Low-Doped Homoepitaxial Ga2O3 for Power Electronics Applications M.J.Tadjera,A.D.Koehlerb,N.A.Mahadikc,E.Glaserd,J.A.FreitasJr,B.Feigelsona ,V.D.Wheelera ,K.D.Hobartb ,F.J.Kubb , A.KuramataECS MA2018-01, 1420 2018
Bulk crystal growth of Ga2O3 A.Kuramata ,K.Koshi ,S.Watanabe ,Y.Yamaoka T.Masui ,S.YamakoshiOxide-based Materials and Devices IX ,105332018
Comparison of O2 and H2O as oxygen source for homoepitaxial growth of β-Ga2O3 layers by halide vapor phase epitaxyK.Konishi ,K.Goto ,R.Togashi ,H.Murakami ,M.Higashiwaki ,A.Kuramata ,
S.Yamakoshi ,B.Monemar ,Y.Kumagai
Journal of Crystal Growth 492,39-442018
Point defect induced degradation of electrical properties of Ga2O3 by 10 MeV proton damageA. Y. Polyakov ,N. B. Smirnov1, I. V. Shchemerov1 ,E. B. Yakimov , J.Yang ,F. Ren, G.Yang ,J.Kim ,A.Kuramata ,S.J. PeartonAppl. Phys. Lett. 112, 0321072018
A comparative study of wet etching and contacts on
(2¯01) and (010) oriented β-Ga2O3
S.Jang , S.Jung ,K.Beers ,J.Yang ,F.Ren ,A.Kuramata ,S.J. Pearton ,K.H.BaikJournal of Alloys and Compounds 731,118-1252018
Ga2O3 Schottky barrier and heterojunction diodes for power electronics applications M.J.Tadjer ,N. A. Mahadik ,J.A. Freitas ,E.R.Glaser ,A.D.Koehler , L.E. Luna ,B.N. Feigelson ,K.D. Hobart ,F.J. Kub ,A.KuramataGallium Nitride Materials and Devices XIII 10532,1053212 2018
Relation Between Electrical and Optical Properties of p‐Type NiO FilmsM.Ono,K.Sasaki,H.Nagai,T.Yamaguchi,M.Higashiwaki,A.Kuramata,S.Yamakoshi,M.Sato,T.Honda,T.OnumaPSS. B 255, 4,17003112018
Pulsed Large Signal RF Performance of Field-Plated Ga2O3MOSFETs M.Singh ,M.A.Casbon ,M.J.Uren ,J.W.Pomeroy ,S.Dalcanale ,
S.Karboyan ,P.J.Tasker ,M.H.Wong ,K.Sasaki ,A.Kuramata ,S.Yamakoshi ,M.Higashiwaki ,M.Kuball
Electron Device Letters 39,10, 1572 - 1575 2018
Breakdown mechanism in 1 kA/cm2 and 960 V E-mode β-Ga2O3 vertical transistors editors-pick Z.Hu, K.Nomoto, W.Li, Z.Zhang, N.Tanen, T.Quang Tu, K.Sasaki, A.Kuramata, T.Nakamura, D.Jena, and X.Huili GraceAppl. Phys. Lett. 113, 122103 2018
Acceptor doping of β-Ga2O3 by Mg and N ion implantations M.Wong,C.Lin, A.Kuramata, S.Yamakoshi, H.Murakami, Y.Kumagai, M.HigashiwakAppl. Phys. Lett. 113, 1021032018
Halide vapor phase epitaxy of Si doped β-Ga2O3 and its electrical propertiesK.Goto, K.Konishi, H.Murakami, Y.Kumagai, B.Monemar, M.Higashiwaki , A.Kuramata, S.YamakoshiThin Solid Films. 666, 182-1842018
Stacking faults in β‐Ga2O3 crystals observed by X‐ray topography H.Yamaguchi,A.KuramataFirst published 102018
All-ion-implanted planar-gate current aperture vertical Ga2O3 MOSFETs with Mg-doped blocking layer M.Wong, K.Goto, Y.Morikawa , A.Kuramata , S.Yamakoshi , H.Murakami , Y.Kumagai , M.HigashiwakiAppl. Phys. Express. 11,0641022018
Depletion-mode vertical Ga2O3 trench MOSFETs fabricated using Ga2O3 homoepitaxial films grown by halide vapor phase epitaxyK.Sasaki , T.Quang , D.Wakimoto , Y.Koishikawa , A.Kuramata , S.YamakoshiAppl. Phys. Express 10,1242012017
Depletion-mode vertical Ga2O3 trench MOSFETs fabricated using Ga2O3 homoepitaxial films grown by halide vapor phase epitaxyK.Sasaki , Q.T.Thieu ,D.Wakimoto ,Y.Koishikawa ,A.Kuramata ,S.YamakoshiAppl, Phys, Exp 10,12,1242012017
Preparation of 2-in.-diameter (001) β-Ga2O3 homoepitaxial wafers by halide vapor phase epitaxyT.Quang ,D.Wakimoto , Y.Koishikawa ,K.Sasaki , K.Goto ,K.Konishi ,H.Murakami , A.Kuramata , Y.Kumagai ,S.Yamakoshi Jpn. J. Appl. Phys. 56, 1103102017
Crystal defects observed by the etch-pit method and their effects on Schottky-barrier-diode characteristics on $(\bar{2}01)$ β-Ga2O3 M.Kasu , T.Oshima , K.Hanada , T.Moribayashi , A.Hashiguchi , T.Oishi , K.Koshi , K.Sasaki , A.Kuramata , O.UedaJpn. J. Appl. Phys. 56, 0911012017
Preparation of 2-in.-diameter (001) β-Ga2O3 homoepitaxial wafers by halide vapor phase epitaxyQ.Tu.Thieu ,D.Wakimoto ,Y.Koishikawa ,K.Sasaki ,K.Goto ,K.Konishi ,H. Murakami , A.Kuramata , Y.Kumagai ,S.YamakoshiJpn J Appl Phys 56,11,1103102017
Electrical properties of Schottky barrier diodes fabricated on (001) β-Ga2O3 substrates with crystal defectsT.Oshima , A.Hashiguchi , T.Moribayashi , K.Koshi , K.Sasaki , A.Kuramata , O.Ueda , T.Oishi , M.KasuJpn. J. Appl. Phys. 56, 0865012017
Band alignment of atomic layer deposited SiO2 and HfSiO4 with $(\bar{2}01)$ β-Ga2O3 P.Carey , F.Ren , D.Hays , B.Gila , S.Pearton , S.Jang , A.KuramataJpn. J. Appl. Phys. 56, 0711012017
Edge-defined Film-fed Growth法によるβ-Ga2O3単結晶成長とその電気的特性 倉又 朗人 , 輿 公祥 , 渡辺 信也 , 山岡 優 , 増井 建和 , 山腰 茂伸 日本結晶成長学会誌 44, n/a2017
Enhancement-mode Ga M.Wong , Y.Nakata , A.Kuramata , S.Yamakoshi , M.Higashiwaki Appl. Phys. Express 10, 0411012017
Edge-defined Film-fed Growth法によるβ-Ga2O3単結晶成長とその電気的特性 倉又 朗人 , 輿 公祥 , 渡辺 信也 , 山岡 優 , 増井 建和 , 山腰 茂伸 日本結晶成長学会誌 44, n/a2017
酸化ガリウム系ヘテロ接合界面におけるキャリア閉じ込めの観察 (電子デバイス研究会 次世代化合物半導体デバイスの機能と応用) 大島 孝仁 , 加藤 勇次 , 河野 直士 , 大石 敏之 , 嘉数 誠 , 倉又 朗人 , 山腰 茂伸 , 藤田 静雄 電気学会研究会資料. EDD = The papers of technical meeting on electron devices, IEE Japan 2017, 1-62017
Origins of etch pits in β-Ga2O3(010) single crystalsK.Hanada , T.Moribayashi , K.Koshi , K.Sasaki , A.Kuramata , O.Ueda , M.KasuJpn. J. Appl. Phys. 55, 1202BG2016
Current status of Ga2O3 power devicesM.Higashiwaki , H.Murakami , Y.Kumagai , A.Kuramata Jpn. J. Appl. Phys. 55, 1202A12016
High-quality β-Ga2O3 single crystals grown by edge-defined film-fed growthA.Kuramata , K.Koshi , S.Watanabe , Y.Yamaoka , T.Masui , S.YamakoshiJpn. J. Appl. Phys. 55, 1202A22016
Structural evaluation of defects in β-Ga2O3 single crystals grown by edge-defined film-fed growth processO.Ueda , N.Ikenaga , K.Koshi , K.Iizuka , A.Kuramata , K.Hanada , T.Moribayashi , S.Yamakoshi , M.KasuJpn. J. Appl. Phys. 55, 1202BD2016
Thermal and chemical stabilities of group-III sesquioxides in a flow of either N2 or H2 R.Togashi , Y.Kisanuki , K.Goto , H.Murakami , A.Kuramata , S.Yamakoshi , B.Monemar , A.Koukitu , Y.KumagaiJpn. J. Appl. Phys. 55, 1202BE2016
Relationship between crystal defects and leakage current in β-Ga M.Kasu , K.Hanada , T.Moribayashi , A.Hashiguchi , T.Oshima , T.Oishi , K.Koshi , K.Sasaki , A.Kuramata , O.UedaJpn. J. Appl. Phys. 55, 1202BB2016
Electron channel mobility in silicon-doped Ga2O3 MOSFETs with a resistive buffer layerM.Wong , K.Sasaki , A.Kuramata , S.Yamakoshi , M.Higashiwaki Jpn. J. Appl. Phys. 55, 1202B92016
Formation of indium–tin oxide ohmic contacts for β-Ga2O3 T.Oshima , R.Wakabayashi , M.Hattori , A.Hashiguchi , N.Kawano , K.Sasaki , T.Masui , A.Kuramata , S.Yamakoshi , K.Yoshimatsu , A.Ohtomo , T.Oishi , M.KasuJpn. J. Appl. Phys. 55, 1202B72016
Epitaxial growth and electric properties of γ-Al2O3(110) films on β-Ga2O3(010) substratesM.Hattori , T.Oshima , R.Wakabayashi , K.Yoshimatsu , K.Sasaki , T.Masui , A.Kuramata , S.Yamakoshi , K.Horiba , H.Kumigashira , A.Ohtomo Jpn. J. Appl. Phys. 55, 1202B62016
Epitaxial growth and electric properties of γ-Al2O3(110) films on β-Ga2O3(010) substratesT.Kamimura , D.Krishnamurthy , A.Kuramata , S.Yamakoshi , M.HigashiwakiJpn. J. Appl. Phys. 55, 1202B52016
High rate growth of In2O3 at 1000 °C by halide vapor phase epitaxyR.Togashi , S.Numata , M.Hayashida , T.Suga , K.Goto , A.Kuramata , S.Yamakoshi , P.Paskov , B.Monemar , Y.Kumagai Jpn. J. Appl. Phys. 55, 1202B32016
Spectroscopic ellipsometry studies on β-Ga2O3 films and single crystalT.Onuma , S.Saito , K.Sasaki , T.Masui , T.Yamaguchi , T.Honda , A.Kuramata , M.Higashiwaki Jpn. J. Appl. Phys. 55, 1202B22016
Electrochemical application of Ga2O3 and related materials: CO2-to-HCOOH conversionT.Sekimoto , H.Hashiba , M.Deguchi , S.Yotsuhashi , T.Masui , A.Kuramata , S.YamakoshiJpn. J. Appl. Phys. 55, 1202B12016
Observation of nanometer-sized crystalline grooves in as-grown β-Ga K.Hanada , T.Moribayashi , T.Uematsu , S.Masuya , K.Koshi , K.Sasaki , A.Kuramata , O.Ueda , M.KasuJpn. J. Appl. Phys. 55, 0303032016
Ga₂O₃上に堆積したSiO₂膜におけるポストアニールの影響 (電子デバイス) 小西 敬太 , 上村 崇史 , ワン マンホイ , 佐々木 公平 , 倉又 朗人 , 山腰 茂伸 , 東脇 正高 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 116, 11-152016
エネルギーデバイス最前線 酸化ガリウムパワーデバイスの最新技術と実用化への課題 東脇 正高 , 熊谷 義直 , 村上 尚 , 倉又 朗人エネルギーデバイス = Energy device 3, 43-472016
酸化ガリウムショットキーバリアダイオード 東脇 正高 , 佐々木 公平 , 村上 尚 , 熊谷 義直 , 倉又 朗人 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 136, 479-4832016
高耐圧ディスプレッション型フィールドプレートGa₂O₃ MOSFET (電子デバイス研究会 次世代化合物半導体デバイスの機能と応用) ワン マンホイ , 東脇 正高 , 佐々木 公平 , 倉又 朗人 , 山腰 茂伸 電気学会研究会資料. EDD = The papers of technical meeting on electron devices, IEE Japan 2016(36-45), 29-332016
エネルギーデバイス最前線 酸化ガリウムパワーデバイスの最新技術と実用化への課題 東脇 正高 , 熊谷 義直 , 村上 尚 , 倉又 朗人 エネルギーデバイス = Energy device 3(6), 43-472016
酸化ガリウム単結晶の光・電子デバイス応用(<特集>機能性単結晶の最近の進展) 倉又 朗人 , 纐纈 明伯 , ワン マンホイ [他] , 上村 崇史 , 東脇 正高 , 山腰 茂伸 , 飯塚 和幸 , 佐々木 公平 , 輿 公祥 , 増井 建和 , 森島 嘉克 , 後藤 健 , 熊谷 義直 , 村上 尚 日本結晶成長学会誌 42, 130-1402015
Thermal stability of β-Ga R.Togashi , K.Nomura , C.Eguchi , T.Fukizawa , K.Goto , T.Quang , H.Murakami , Y.Kumagai , A.Kuramata , S.Yamakoshi , B.Monemar , A.KoukituJpn. J. Appl. Phys. 54, 041102 2015
酸化ガリウム単結晶の光・電子デバイス応用(<特集>機能性単結晶の最近の進展) 倉又 朗人 , 纐纈 明伯 , ワン マンホイ [他] , 上村 崇史 , 東脇 正高 , 山腰 茂伸 , 飯塚 和幸 , 佐々木 公平 , 輿 公祥 , 増井 建和 , 森島 嘉克 , 後藤 健 , 熊谷 義直 , 村上 尚 日本結晶成長学会誌 42, 130-1402015
依頼講演 Al₂O₃/Ga₂O₃界面構造とその面方位依存性 (シリコン材料・デバイス) 上村 崇史 , キルシナムルティ ダイワシガマニ , 倉又 朗人 [他]電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 115, 11-162015
Homoepitaxial growth of β-Ga2O3 layers by halide vapor phase epitaxyH.Murakami , K.Nomura , K.Goto , K.Sasaki , K.Kawara , T.Quang , R.Togashi , Y.Kumagai , M.Higashiwaki , A.Kuramata , S.Yamakoshi , B.Monemar , A.KoukituAppl. Phys. Express 8, 0155032014
Systematic investigation of the growth rate of β-Ga2O3(010) by plasma-assisted molecular beam epitaxyH.Okumura , M.Kita , K.Sasaki , A.Kuramata , M.Higashiwaki , J.SpeckAppl. Phys. Express 7(9), 0955012014
Al₂O₃/β-Ga₂O₃ヘテロ接合におけるバンドオフセット (電子デバイス) 上村 崇史 , 佐々木 公平 , ワン マンホイ [他] , ダイワシガマニ キルシナムルティ , 倉又 朗人 , 増井 建和 , 山腰 茂伸 , 東脇 正高 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114, 41-462014
Al₂O₃/β-Ga₂O₃ヘテロ接合におけるバンドオフセット (電子デバイス) 上村 崇史 , 佐々木 公平 , ワン マンホイ [他] , ダイワシガマニ キルシナムルティ , 倉又 朗人 , 増井 建和 , 山腰 茂伸 , 東脇 正高電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114, 41-462014
Siイオン注入を用いて作製したディプレッション型酸化ガリウムMOSFET (マイクロ波) 東脇 正高 , 佐々木 公平 , ワン マンホイ [他] , 上村 崇史 , キルシナムルティ ダイワシガマニ , 倉又 朗人 , 増井 建和 , 山腰 茂伸 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113, 35-392014
Siイオン注入を用いて作製したディプレッション型酸化ガリウムMOSFET (電子デバイス) 東脇 正高 , 佐々木 公平 , ワン マンホイ [他] , 上村 崇史 , キルシナムルティ ダイワシガマニ , 倉又 朗人 , 増井 建和 , 山腰 茂伸 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113, 35-392014
酸化ガリウム半導体単結晶のパワーデバイス応用 (パワーエレクトロニクス小特集) 佐々木 公平 , 倉又 朗人 , 増井 建和 , 山腰 茂伸 日本電子材料技術協会会報 45, 24-30 2014
酸化ガリウム(Ga2O3)結晶成長およびデバイス応用 東脇 正高 , 佐々木 公平 表面科学 35, 102-1072014
β-Ga2O3 Single Crystal as a Photoelectrode for Water SplittingT.Oshima , K.Kaminaga , H.Mashiko , A.Mukai , K.Sasaki , T.Masui , A.Kuramata , S.Yamakoshi , A.OhtomoJpn J Appl Phys 52, 111102-111102-42013
Si-Ion Implantation Doping in β-Ga2O3 and Its Application to Fabrication of Low-Resistance Ohmic ContactsK.Sasaki , M.Higashiwaki , A.Kuramata , T.Masui , S.Yamakoshi
Appl Phys Express 6, 086502-086502-42013
Si-Ion Implantation Doping in β-Ga₂O₃ and Its Application to Fabrication of Low-Resistance Ohmic Contacts K.Sasaki , M.Higashiwaki , A.Kuramata [他] , T.Masui , S.YamakoshiAppl Phys Express 6, "086502-1"-"086502-4"2013
Al₂O₃/n-Ga₂O₃ MOSダイオード特性評価 (電子デバイス) 上村 崇史 , ワン マンホイ , 佐々木 公平 [他] , ダイワシガマニ キルシナムルティ , 倉又 朗人 , 増井 建和 , 山腰 茂伸 , 東脇 正高 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113, 29-322013
Formation of Semi-Insulating Layers on Semiconducting β-Ga₂O₃ Single Crystals by Thermal Oxidation T.Oshima , K.Kaminaga , A.Mukai[他] , K.Sasaki , T.Masui , A.Kuramata , S.Yamakoshi , S.Fujita , A.Ohtomo Jpn J Appl Phys 52, 051101-051101-52013
単結晶β-Ga_2O_3基板を用いたPt/β-Ga_2O_3ショットキーバリアダイオード 佐々木 公平 , 東脇 正高 , 倉又 朗人 [他] , 増井 建和 , 山腰 茂伸 電子情報通信学会技術研究報告. LQE, レーザ・量子エレクトロニクス 112, 25-282012
Device-Quality β-Ga₂O₃ Epitaxial Films Fabricated by Ozone Molecular Beam Epitaxy K.Sasaki , A.Kuramata , T.Masui [他] , E.Víllora , K.Shimamura , S.Yamakoshi Appl Phys Express 5(3), 035502-035502-32012
酸化ガリウム半導体の分子線エピタキシー(MBE)成長とショットキーダイオード (特集 酸化物半導体の新しい応用展開 : 酸化亜鉛,酸化ガリウム,さらに新しい材料を求めて) 佐々木 公平 , 倉又 朗人 , 増井 建和 [他] 機能材料 32, 20-26, 2012-12 2012
酸化ガリウムをパワー素子に SiCよりも安く、高性能に 東脇 正高 , 倉又 朗人 , 佐々木 公平 [他] 日経エレクトロニクス -(1079), 81-892012
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